2 godzin temu
W Hangzhou zaprezentowano pierwszą w Chinach komercyjną maszynę do litografii wiązką elektronową. Urządzenie o nazwie „羲之” (Xizhi) to efekt prac badaczy z Instytutu Kwantowego Uniwersytetu Zhejiang, którzy stworzyli sprzęt dorównujący precyzją międzynarodowym rozwiązaniom, a jednocześnie wolny od ograniczeń eksportowych.
Litografia elektronowa to technologia pozwalająca „ręcznie” zapisywać wzory układów scalonych z użyciem wysokoenergetycznej wiązki elektronów. W odróżnieniu od powszechnie stosowanej litografii optycznej nie wymaga masek, co umożliwia szybkie wprowadzanie zmian i testowanie nowych koncepcji w laboratoriach badawczych.
„Nano pędzel” do kwantowych chipów
Nowa maszyna pracuje z energią 100 kV i potrafi rysować obwody z dokładnością 0,6 nm przy szerokości linii 8 nm. Badacze porównują ją do „nanometrycznego pędzla”, którym można stworzyć na powierzchni cieńszej od ludzkiego włosa mapę całego miasta.
Sprzęt został zaprojektowany z myślą o badaniach nad chipami kwantowymi i nowej generacji półprzewodnikami. Dzięki temu, iż nie trzeba korzystać z masek nadaje się szczególnie do prototypowania i wielokrotnego debugowania w początkowych etapach projektowania układów.
Dotychczas podobne urządzenia były objęte ścisłymi restrykcjami eksportowymi, co blokowało dostęp do nich m.in. Chińskiej Akademii Nauk czy laboratoriom w Zhejiang. Wprowadzenie Xizhi ma szansę przełamać ten impas – według lokalnych władz cena urządzenia ma być niższa od międzynarodowej średniej, a rozmowy z pierwszymi instytutami badawczymi i firmami już trwają.
PuLin Technology łamie zachodni monopol – pierwsza chińska maszyna do nanolitografii już u odbiorcy
Zachodni korytarz naukowo-techniczny
Powstanie Xizhi to nie tylko pojedynczy sukces, ale także element szerszego ekosystemu innowacji w tzw. „zachodnim korytarzu naukowo-technicznym” w Hangzhou. Region łączy działalność badawczą uczelni z biznesem, oferując ścieżkę od prototypu do komercjalizacji. W tym modelu firmy zgłaszają potrzeby technologiczne, a zespoły naukowców z Uniwersytetu Zhejiang przygotowują rozwiązania, które gwałtownie przechodzą z laboratoriów do produkcji.
Dla Chin oznacza to wzmocnienie niezależności w jednym z najbardziej strategicznych obszarów, czyli produkcji chipów. O ile litografia EUV wciąż pozostaje poza zasięgiem krajowych producentów, to rozwój własnej litografii elektronowej daje naukowcom narzędzie do badań nad technologiami przyszłości, w tym kwantowymi procesorami i niestandardowymi architekturami półprzewodników.
